[发明专利]基于垂向碳纳米管阵列的非转移式热界面材料及其方法

摘要

本发明公开了一种基于垂向碳纳米管阵列的非转移式热界面材料及其方法。该热界面材料结构上从内而外依次分为生长基底层、固定层、垂向碳纳米管阵列三部分。通过在碳管阵列表面制备牺牲层，作为对阵列表面部分碳管的保护，在其内部填充固定层材料后，通过溶解或热熔等方式除去牺牲层，使表面部分的阵列碳管裸露出来用作高导热界面接触。本发明避免了转移碳纳米管阵列的繁琐步骤及碳管损伤，工艺简易，成本低廉，在整体上兼顾填充性及高导热性的同时，实现了碳纳米管阵列与基底的强结合。