[发明专利]HiPIMS系统及减小HiPIMS放电电流延迟的方法有效
| 申请号： | 202010807849.5 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN112080728B | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 李刘合;韩明月;罗阳;黄凯;谢焕钧;许浩;徐长云 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人： | 郭智 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种HiPIMS系统及减小HiPIMS放电电流延迟的方法，HiPIMS系统，包括真空室和电源，所述真空室包括阴极靶，所述电源在电源正极输出端具有电感，在阴极靶与阳极之间并联一个电容，该电容与所述电感形成LC串联振荡电路，利用LC振荡产生的高电压，实现气体快速击穿。本发明在不需要更改HiPIMS电源及额外的配置的情况下，利用辅助电路振荡实现快速的HiPIMS气体击穿放电，增加了脉冲期间向等离子体中的输入能量。 | ||
| 搜索关键词： | hipims 系统 减小 放电 电流 延迟 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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