[发明专利]一种化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 202010808317.3 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN111872841B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 魏运秀 | 申请（专利权）人： | 青岛融合装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B27/00;B24B37/30;B24B41/02;H01L21/306 |
| 代理公司： | 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504 | 代理人： | 罗炳锋 |
| 地址： | 266000 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械研磨装置，包括研磨台，所述研磨台的上方固定有研磨垫，研磨垫的一侧边缘上方设有三个圆周均布的研磨头，三个研磨头设有转动切换机构，转动切换机构固定在机架上；其中一个研磨头正对研磨垫，所述机架上设有驱使正对研磨垫的研磨头下移和驱使其转动的下移转动机构；所述机架上还设有驱使研磨台旋转的转动机构。本发明设有三个可旋转的研磨头，一个研磨头在研磨晶圆的同时，另外两个研磨头可分别将研磨好的晶圆输出和将带研磨的晶圆进行输入待命，可有效提高晶圆的研磨效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 装置 | ||
【主权项】：
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