[发明专利]产生电子密度可调制型的等离子体光子晶体的装置及方法有效

专利信息
申请号: 202010809081.5 申请日: 2020-08-12
公开(公告)号: CN111988901B 公开(公告)日: 2023-01-13
发明(设计)人: 董丽芳;郭丽婷;潘宇扬 申请(专利权)人: 河北大学
主分类号: H05H1/24 分类号: H05H1/24;G02B1/00
代理公司: 石家庄国域专利商标事务所有限公司 13112 代理人: 胡素梅
地址: 071002 *** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明提供了一种产生电子密度可调制型的等离子体光子晶体的装置及方法。所述装置包括真空反应室、信号采集器、气体比例调节装置、气体预混室和计算机。向真空反应室内通入气体比例可调的放电气体,可产生可调制型的等离子体光子晶体;通过调节外加电压,能够得到一系列等离子体光子晶体,方便可调;所产生的等离子体光子晶体放电情况不同,电子密度不同。本发明通过设置信号采集器、气体比例调节装置和计算机,可以实时监控电子密度,还可以反向调节,即:根据电子密度计算出气体体积比,由气体比例调节装置调制出符合要求的气体比例,从而得到想要的等离子体光子晶体。这种实现可调可控性的等离子体光子晶体具有重要的研究意义。
搜索关键词: 产生 电子密度 调制 等离子体 光子 晶体 装置 方法
【主权项】:
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