[发明专利]一种Ti-Al合金靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202010809266.6 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN111962032A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;江胜君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/15;B22F5/00;C22C14/00;C22F1/18;C22F1/02 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种Ti‑Al合金靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)将钛粉和铝粉在保护气氛下混合，得到混粉；(2)将步骤(1)得到的混粉置于包套中依次进行第一脱气处理、第一热等静压处理、第二脱气处理及第二热等静压处理，之后将所述包套去除经机加得到所述Ti‑Al合金靶材。本发明提供的制备方法通过对制备过程中工艺步骤的重新设计，使得制备得到的靶材在溅射过程中避免了弧光放电的产生，提高了溅射过程中镀膜和镀件的结合度，强化了镀膜效果，进而延长了靶材的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ti al 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
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