[发明专利]一种阀门密封体表面六硼化镧复合碳薄膜及其高结合力沉积方法有效
| 申请号： | 202010811283.3 | 申请日： | 2020-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN111926288B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 张斌;毛金银;贾倩;毛春龙;陈善俊 | 申请（专利权）人： | 江苏金晟元特种阀门股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 丁桂红 |
| 地址： | 226671 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空镀膜和氯碱化工技术领域，具体涉及一种阀门密封体表面六硼化镧复合碳薄膜及其高结合力沉积方法，以阀门密封体表面为基底，自下而上依次包括基底氮化层、钛粘结层、钛硅层、氮化钛硅层、六硼化镧层和六硼化镧复合碳薄膜。本发明采用钛、钛硅及六硼化镧作为靶材，甲烷或者乙炔作为碳源，沉积六硼化镧复合碳薄膜；本发明由于结合力高功率脉冲磁控溅射的高离化率和硅钛金属的高硬度及强韧性，获得的薄膜在阀门密封面基底上不仅具有高的结合力，更能耐频繁开启冲击，同时保证了耐磨耐蚀性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阀门 密封 体表 面六硼化镧 复合 薄膜 及其 结合 沉积 方法 | ||
【主权项】：
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