[发明专利]一种基于3D点云的扫描电子显微镜自动扫描方法及系统在审
| 申请号： | 202010812147.6 | 申请日： | 2020-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN111929339A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 刘熙;李高洁;张传杰;樊丽丽 | 申请（专利权）人： | 复纳科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251 |
| 代理公司： | 苏州通途佳捷专利代理事务所(普通合伙) 32367 | 代理人： | 翁德亿 |
| 地址： | 200000 上海市浦东新区中国（上海）自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于3D点云的扫描电子显微镜自动扫描方法及系统，该方法通过3D扫描设备获取多曲面样品几何表面空间点云数据，并选取样品需要分析区域的空间点云数据，通过空间坐标系转换，将上述点云数据转换为基于扫描电镜空间坐标系的点云数据，根据样品分析需求将转换后的点云数据转换为扫描电镜控制指令，使扫描电镜依据指令快速完成多曲面样品扫描分析；该系统主要包括样品3D模块、空间坐标转换模块、扫描轨迹计算模块及扫描电镜控制模块等。本发明依据3D扫描后获取的不规则多曲面样品几何表面空间点云数据，可控制扫描电镜自动、快速地完成样品的分析工作，从而有效缩短了复杂表面样品分析时间，减轻工作强度，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 扫描 电子显微镜 自动 方法 系统 | ||
【主权项】：
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