[发明专利]半导体装置和制造该半导体装置的方法在审

专利信息
申请号: 202010812419.2 申请日: 2020-08-13
公开(公告)号: CN113113420A 公开(公告)日: 2021-07-13
发明(设计)人: 金在泽;郑蕙英 申请(专利权)人: 爱思开海力士有限公司
主分类号: H01L27/11573 分类号: H01L27/11573;H01L27/11582
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 刘久亮;黄纶伟
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本技术提供了一种半导体装置和制造该半导体装置的方法。该半导体装置包括:单元源极结构;第一叠层,其设置在单元源极结构上,并且包括彼此交替层叠的绝缘图案和导电图案;外围源极结构;以及电阻器图案,其设置在外围源极结构上。电阻器图案与第一叠层的最下部的绝缘图案设置在基本相同的水平。
搜索关键词: 半导体 装置 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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