[发明专利]铝铜合金膜层的制备方法、声表面波滤波器以及双工器有效
| 申请号： | 202010814063.6 | 申请日： | 2020-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN111934645B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 尤建发;林志东;叶俊锋;李雷;杨濬哲 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/64;H03H9/72;C23C14/24;C23C14/14;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京超成律师事务所 11646 | 代理人： | 王雪 |
| 地址： | 361100 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种铝铜合金膜层的制备方法、声表面波滤波器以及双工器，涉及合金膜层制备技术领域。该铝铜合金膜层的制备方法包括：获取制备铝铜合金膜层所需的反应基材的消耗量，其中，铝铜合金膜层具有目标膜层厚度和目标膜层面积，且铝铜合金膜层的铝元素和铜元素具有预设质量比；根据反应基材的消耗量对应计算铜元素的消耗量和铝元素的消耗量，添加计算的铜元素的消耗量和铝元素的消耗量，以补充反应基材；提供预设反应条件，在基层上制备具有目标膜层厚度和目标膜层面积的铝铜合金膜层，其中，铝铜合金膜层的铝元素和铜元素呈预设质量比。该铝铜合金膜层的制备方法能够提升铝铜合金膜层中元素含量的稳定性，从而改善器件的耐功率性。 | ||
| 搜索关键词： | 铜合金 制备 方法 表面波 滤波器 以及 双工器 | ||
【主权项】：
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