[发明专利]磁场传感器及测试方法有效

专利信息
申请号: 202010815288.3 申请日: 2020-08-13
公开(公告)号: CN111929625B 公开(公告)日: 2023-03-28
发明(设计)人: 毕冲;刘明 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G01R33/07 分类号: G01R33/07
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周天宇
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本公开提供了一种磁场传感器,应用于磁传感器技术领域,所述磁场传感器的衬底上沉积单层铁磁层,所述铁磁层内部发生自旋积累,以与所述铁磁层的磁矩相互作用产生单向磁电阻;所述磁场传感器为霍尔棒结构,利用所述霍尔棒结构测量所述单向磁电阻。本申请还公开了一种测试方法,单向磁电阻信号强度强,利用普通的电压即可进行磁场全角度检测。
搜索关键词: 磁场 传感器 测试 方法
【主权项】:
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