[发明专利]一种金属件表面PVD镀透明绝缘膜工艺在审

专利信息
申请号: 202010818319.0 申请日: 2020-08-14
公开(公告)号: CN111962025A 公开(公告)日: 2020-11-20
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 昆山市恒鼎新材料有限公司
主分类号: C23C14/16 分类号: C23C14/16;C23C14/10;C23C14/08;C23C14/35
代理公司: 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 代理人: 王利斌
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种金属件表面PVD镀透明绝缘膜工艺,包含以下步骤:将镀有颜色层的金属件清洗后放入真空炉中,真空加热烘干;对该金属件进行离子清洗;关闭氩气和工件偏压,控制真空炉内真空度,使其内真空度维持在10‑1 Pa数量级的动态平衡压强;控制真空炉内温度为100‑300℃,采用真空平面磁控溅射法依次为金属件镀上Si/Al过渡层和氧化硅/氧化铝透明绝缘层。本发明的一种金属件表面PVD镀透明绝缘膜工艺,采用物理气相沉积的原理,以真空平面磁控溅射法,在原有镀色金属件的外部镀上透明绝缘层,使金属件表面即能满足表面绝缘,又能满足金属件不同颜色的使用需求;且其工艺流程简单,环保,成本低。
搜索关键词: 一种 金属件 表面 pvd 透明 绝缘 工艺
【主权项】:
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