[发明专利]氧化铟镓锌靶材的电化学回收再利用方法在审

专利信息
申请号: 202010820246.9 申请日: 2020-08-14
公开(公告)号: CN111979563A 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: 宋建勋;李少龙;车玉思;舒永春;何季麟 申请(专利权)人: 郑州大学
主分类号: C25C3/36 分类号: C25C3/36;C25B1/00;C01G15/00;B82Y40/00
代理公司: 北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557 代理人: 朱春野
地址: 450001 河南省郑*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 氧化铟镓锌靶材的电化学回收再利用方法,包括:(1)恒电位电解过程:以氧化铟镓锌为原料,以包含氯化钙的熔融盐为电解质,以第一石墨电极为第一阴极,以第二石墨电极为第一阳极,在惰性气体保护下进行恒电位电解,得到铟镓锌合金;(2)恒电流电解过程:以铟镓锌合金为第二阳极,以氯化铵水溶液为电解液,进行恒电流电解,得到铟镓锌氢氧化物沉淀;(3)煅烧过程:煅烧铟镓锌氢氧化物沉淀,得到纳米级铟镓锌氧化物复合粉体。
搜索关键词: 氧化 铟镓锌靶材 电化学 回收 再利用 方法
【主权项】:
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