[发明专利]一种空间滤波器端透镜五维调节方法及其装置在审
| 申请号： | 202010824561.9 | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN111856772A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 朱健强;章冬辉;郑留念;张燕;刘志刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B27/46 | 分类号： | G02B27/46;G02B7/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高功率激光系统中的空间滤波器端透镜调节方法与装置，包括鬼像定位法、位姿调节法和五维控制机构，使得空间滤波器端透镜自动化调节。鬼像定位法确定最强光斑的位置测量到端透镜的一阶鬼点焦距，根据位置关系确定端透镜在光轴Z向上的位置，再根据光束的完整衍射环判断透镜的位姿满足调节要求。五维控制机构包括动平台、静平台、中间平台、至少三条支链以及连接平台的固定支杆。控制机构连接到计算机上，通过控制多条支链协作配合达到调节目的。本发明具有鬼像中心位置误差敏感性高、低阶鬼像成像质量清晰的特点，结合激光光束衍射成像，可进行入射光单侧有限空间调节操作，并联控制机构精度高可拆装使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空间 滤波器 透镜 调节 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
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