[发明专利]一种超高精度显微打磨深度标尺及其制备工艺

摘要

本发明所提供的超高精度显微打磨深度标尺可用于测量显微样品的打磨深度，用于加工双面平行度超高的薄板。超高精度显微打磨深度标尺的测量精度可达到纳米级。显微打磨深度标尺的结构主要包括三个部分：标尺板；上挡板；下挡板。标尺板的∠θ为斜面和标尺底面的夹角，cotθ是该斜面测量时的放大倍数，放大倍数可根据需求进行设计。超高精度显微打磨深度标尺的斜面带有固体涂层或镀层，以满足超高精度的测量要求。采用三个以上的标尺斜面测量时，可降低因打磨后出现的倾角而导致测量的误差，可测量样品打磨后样品表面任意一点的精确打磨深度。