[发明专利]一种具有自组装模板的AlGaN复合薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202010830369.0 | 申请日： | 2020-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN112086543B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 张骏;岳金顺;梁仁瓅 | 申请（专利权）人： | 苏州紫灿科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/12 | 分类号： | H01L33/12;H01L33/32;H01L33/00 |
| 代理公司： | 武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙) 42231 | 代理人： | 易贤卫 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具有自组装模板的AlGaN复合薄膜及其制备方法，所述具有自组装模板的AlGaN薄膜由下至上依次设置有蓝宝石衬底、AlN低温缓冲层、高温AlN层、AlGaN自组装模板层和高温AlGaN薄膜层；所述AlGaN自组装模板层由紧贴设置的AlInGaN薄膜层和AlGaN低温层升温退火至In升华后制得，且升温退火前所述AlInGaN薄膜层位于靠近所述高温AlN层一侧，所述AlGaN低温层位于靠近所述高温AlGaN薄膜层一侧。本发明通过AlInGaN薄膜层和AlGaN低温层经升温退火至In升华后，形成具有图形化的AlGaN自组装模板层，该AlGaN自组装模板层可以有效过滤来源于高温AlN层的穿透位错，并释放生长过程中积累的热应力，从而显著提高AlGaN复合薄膜的质量并防止薄膜开裂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 组装 模板 algan 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州紫灿科技有限公司，未经苏州紫灿科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010830369.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
