[发明专利]一种基于空心PMMA管复合波导气体传感器有效
| 申请号： | 202010830404.9 | 申请日： | 2020-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN112067576B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 陈剑;冯吉军;张大伟;庄松林 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/3586 | 分类号： | G01N21/3586;G01N21/3504;G02B6/00;G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 申丹宁 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于空心PMMA管复合波导气体传感器，包括密封在两个PMMA板之间的三根从内到外同轴设置的PMMA管，在靠近传感器两端处的管壁上分别设置出气口和进气口；每根PMMA管都具有不同的光栅结构，从内到外依次刻蚀复合型光栅结构、双啁啾型光栅结构和单啁啾复合型光栅结构。与现有技术相比，本发明在太赫兹波入射下，能够实现气体的压强检测，此外，不同直径的组合在一起能够提高太赫兹波检测气体压强的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 空心 pmma 复合 波导 气体 传感器 | ||
【主权项】：
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