[发明专利]一种大直径金刚石片的制备装置及其制备方法有效
| 申请号： | 202010830589.3 | 申请日： | 2020-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN112064111B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 王忠强;陶仁春;梁智文;王琦;张国义 | 申请（专利权）人： | 北京大学东莞光电研究院 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B25/04;C30B25/12 |
| 代理公司： | 东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙) 44412 | 代理人： | 邓燕 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶体合成技术领域，尤指一种大直径金刚石片的制备装置及其制备方法，该装置包括包括壳体、直径检测单元、升降式旋转支架和掩膜单元，壳体通过狭缝隔板分成上腔室和下腔室，上腔室内设有微波等离子体；本发明的方法通过升降式旋转支架带动金刚石圆片转动及升降，金刚石圆片一部分穿过狭缝隔板暴露在微波等离子体中，掩膜单元在金刚石圆片上涂布掩膜，抑制金刚石圆片的轴向生长，使得金刚石圆片只沿着径向旋转生长，从而生长出大直径金刚石圆片；并且根据直径检测单元的反馈，随着金刚石圆片直径生长变大，升降式旋转支架逐步降低，维持金刚石圆片的顶部高度不变，以便在微波等离子体下形成稳定的生长环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直径 金刚 石片 制备 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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