[发明专利]移动体装置、曝光装置、平面显示器的制造方法、及元件制造方法、以及物体的移动方法在审
| 申请号： | 202010833163.3 | 申请日： | 2016-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN111929992A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 单晓双;叶明川 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种移动体装置、曝光装置、平面显示器的制造方法、及元件制造方法、以及物体的移动方法。使基板(P)移动的基板载台装置(20)具备：非接触保持具(32)，以非接触方式支承基板(P)；第1驱动系，使非接触保持具(32)移动；标尺板(82)，作为非接触保持具(32)的移动的基准；第1测量部，测量Y读头(78y)的位置信息，具有标尺板(46)与Y读头(78y)，标尺板(46)与Y读头(78y)中的一者设于非接触保持具(32)，标尺板(46)与Y读头(78y)中的另一者设于标尺板(82)与非接触保持具(32)之间；第2测量部，测量标尺板(46)与Y读头(78y)中的另一者的位置信息；及位置测量系，根据由第1及第2测量部测量的位置信息，求出非接触保持具(32)的位置信息。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 装置 曝光 平面 显示器 制造 方法 元件 以及 物体 | ||
【主权项】：
暂无信息
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