[发明专利]碲化铋基薄膜热电模块制造方法、热电模块及热电发电机在审
| 申请号： | 202010835425.X | 申请日： | 2020-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN112038472A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 刘宏;程新利;刘伟祎;章于道 | 申请（专利权）人： | 苏州科技大学;苏州窄带半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L35/16 | 分类号： | H01L35/16;H01L35/34;H02N11/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 吴芳 |
| 地址： | 215009 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碲化铋基薄膜热电模块制造方法、热电模块及热电发电机，制造方法包括以下步骤：在热沉基板上沉积二氧化硅膜层；在二氧化硅膜层上制备多条间隔排列的金属带；在不同的金属带之间的所述二氧化硅膜层的上表面交替沉积P型和N型碲化铋基薄膜，得到第一半成品；在第一半成品上表面涂覆光刻胶，并移除部分的金属带上的光刻胶，使移除光刻胶的金属带与未移除光刻胶的金属带交替设置；在移除光刻胶的金属带上沉积一层金属层，得到第二半成品；在第二半成品上表面涂覆光刻胶，并移除金属层上的光刻胶；在移除光刻胶的金属层上沉积导热绝缘层。本发明利用MEMS微加工技术和薄膜沉积技术实现了平面碲化铋基薄膜热电发电机的可扩展性。 | ||
| 搜索关键词： | 碲化铋基 薄膜 热电 模块 制造 方法 发电机 | ||
【主权项】：
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