[发明专利]分布式节能型恒温洁净室在审
申请号: | 202010840150.9 | 申请日: | 2020-08-19 |
公开(公告)号: | CN111829103A | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 任泽峰;蔡贞贞 | 申请(专利权)人: | 江苏博创翰林光电高科技有限公司 |
主分类号: | F24F3/16 | 分类号: | F24F3/16;F24F11/46;F24F11/64;F24F11/72;F24F11/80;F24F13/24;F24F13/28;F24F110/10 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 冒艳 |
地址: | 214000 江苏省无锡市锡山区锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了分布式节能型恒温洁净室,包括高精度恒温洁净区,内部放置高精度恒温要求的设备,其顶部与洁净室顶部之间为上技术夹层,上技术夹层内设置空调内机和除湿机,高精度恒温洁净区顶部上表面设置风机过滤机组FFU,紧靠高精度恒温洁净区两侧同时设置普通恒温洁净区或紧靠一侧设置普通恒温洁净区、对侧预留为夹道回风腔,普通恒温洁净区内部放置洁净度要求低的热源设备,普通恒温洁净区顶部和侧壁均设置气流流通的回风口。该洁净室温控精度更高,可到±0.01℃,控温效果好,成本低,能耗低,节省占地面积。 | ||
搜索关键词: | 分布式 节能型 恒温 洁净室 | ||
【主权项】:
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