[发明专利]一种用于太阳能电池的热处理设备在审
| 申请号： | 202010841144.5 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN111863686A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 刘欢;张海森;王义方;胡炜 | 申请（专利权）人： | 苏州炳日科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 胡彭年 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种用于太阳能电池生产的热处理设备，包括炉体、设置在所述炉体内的传输通道及用以传输太阳能电池的传送系统；所述传送系统包括沿所述传输通道的延伸方向依次排布的若干传送单元，所述传送单元包括横向延伸且相对所述炉体呈可旋转设置的驱动轴、绕设于所述驱动轴上的传送带。本申请热处理设备能够降低设备制造与后续维护成本，减小温度扰动，保证太阳能电池的正常生产，操作更为便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 太阳能电池 热处理 设备 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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