[发明专利]一种垂直结构石墨烯的衬底快速筛选方法在审
| 申请号： | 202010843466.3 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN112125298A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 王俊杰;叶继春;邬苏东;杨熹;廖明墩;盛江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186;C01B32/194 |
| 代理公司： | 宁波甬致专利代理有限公司 33228 | 代理人： | 张鸿飞 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开一种垂直结构石墨烯的衬底快速筛选方法，包括以下步骤：1）在衬底表面划分区域并对其不同区域分别采用不同材料沉积预处理；2）将预处理后的衬底置于喷射式等离子体的反应腔室内的样品台上；3）将反应腔室抽至真空后通入Ar气，调节反应腔室压力达到200‑1500 Pa后，激发等离子体，随后通入H |
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| 搜索关键词： | 一种 垂直 结构 石墨 衬底 快速 筛选 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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