[发明专利]清洗处理方法、酸温度控制设备和清洗处理设备在审
| 申请号： | 202010843753.4 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN112157055A | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 蔡爱梅;宁晓晓;刘应全;曲宏波;杜俊平;严大洲;万烨;孙强 | 申请（专利权）人： | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;F26B23/10 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 石茵汀 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请提出一种清洗处理方法、酸温度控制设备和清洗处理设备，其中，方法包括：对硅晶对象进行水洗，对经过水洗的硅晶对象，采用经过温控的酸液进行酸洗，并在酸洗过程中，对硅晶对象进行抖动，对经过酸洗的硅晶对象进行漂洗，对经过漂洗的硅晶对象顺序进行超声处理和干燥处理，本申请在执行酸洗的过程中，通过温控使得酸液保持在设定温度，提高了酸洗的效率，而对硅晶对象的抖动使得硅晶对象和酸液可以充分接触，提高了酸洗的效果，同时，结合水洗和超声波洗，有效去除了硅晶对象表面的金属残留，以及其它杂质，提高了清洗处理的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 处理 方法 温度 控制 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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