[发明专利]声波器件、声波器件的制造方法及相关器件在审
| 申请号： | 202010845352.2 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN111917394A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 高智伟;林瑞钦;黄韦胜;廖珮淳 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 王军红;张颖玲 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种声波器件、声波器件的制造方法及相关器件。其中，所述声波器件包括：衬底；位于所述衬底的第一表面的至少一个第一谐振结构；所述至少一个第一谐振结构中的各第一谐振结构之间通过串联的方式连接，串联的第一谐振结构形成了第一支路；位于所述衬底的第二表面的至少一个第二谐振结构；所述至少一个第二谐振结构中的各第二谐振结构均通过并联的方式连接到所述第一支路上；其中，所述第二表面与所述第一表面为相反面。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 器件 制造 方法 相关 | ||
【主权项】：
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