[发明专利]一种波导耦合的光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种波导耦合的光电探测器及其制备方法。其中，本发明的一个方面提供了一种波导耦合的光电探测器，可以包括：衬底，包括底部硅材料层、中间二氧化硅填埋层和顶层硅；波导层和微结构倍增区，由衬底上的部分顶层硅刻蚀而成，其中，微结构倍增区用于调控电场分布和/或电场强弱，在波导层和微结构倍增区制备有掺杂区；二氧化硅窗口层，覆盖于波导层、微结构倍增区和掺杂区的部分表面，其中，在二氧化硅窗口层上开有外延窗口；光吸收层，布置在外延窗口中；绝缘介质层，覆盖于光吸收层和二氧化硅窗口层上，在二氧化硅窗口层和绝缘介质层上开有电极窗口；电极，电极包括n电极和p电极，设置于电极窗口中。