[发明专利]基于非对称金属光栅结构的SPP耦合器及制作方法有效
| 申请号： | 202010850190.1 | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN111880251B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 刘文杰;卓青霞;刘怡俊 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00;G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 沈闯 |
| 地址： | 510060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种基于非对称金属光栅结构的SPP耦合器及制作方法，其SPP耦合器当入射光通过介质填充层后进入介质光栅层，通过设置非对称金属光栅结构为倒“L”字型结构或“Z”字型结构，从而使得入射光可以垂直射入衬底，激发SPP，无需倾斜入射激发，可大幅降低外置光路的复杂性；而介质光栅层具有若干个周期性的介质光栅，周期性的介质光栅结构可以实现较高的光耦合效率，且可以较好的将入射光限制于衬底内进行单向传播，从而可以提高光耦合效率与单向比，另外，本实施例的SPP耦合器结构简单，制作难度低，适于批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 对称 金属 光栅 结构 spp 耦合器 制作方法 | ||
【主权项】：
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