[发明专利]一种吸收光程增强型双谐振光声光谱痕量气体检测系统有效
申请号: | 202010851747.3 | 申请日: | 2020-08-21 |
公开(公告)号: | CN112147076B | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 刘丽娴;邵晓鹏;章学仕;宦惠庭;尹旭坤;张乐;董磊;魏鹏伟 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学 |
主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17;G01N21/25;G01N21/39 |
代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 刘长春 |
地址: | 710000 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种吸收光程增强型双谐振光声光谱痕量气体检测系统,包括光源模块、光声谐振腔、信号处理模块,光源模块用于产生入射光;光声谐振腔用于使待测痕量气体吸收入射光,以产生光声信号并放大光声信号,将放大的光声信号转化为电信号,其中,光声谐振腔包括石英音叉,用于与光声信号发生共振,通过压电效应产生电信号;信号处理模块用于对电信号进行放大、互相关处理、分析和匹配。本发明的检测系统,石英音叉和光声谐振腔一体化的结构,使得装置结构小巧,测量方便快速,克服了传统石英增强光声光谱装置安装效率低下的问题,比传统的微音器检测光声信号的频响范围更窄,增强了抗噪能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 吸收 光程 增强 谐振 声光 痕量 气体 检测 系统 | ||
【主权项】:
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