[发明专利]一种吸收光程增强型双谐振光声光谱痕量气体检测系统有效

专利信息
申请号: 202010851747.3 申请日: 2020-08-21
公开(公告)号: CN112147076B 公开(公告)日: 2022-08-23
发明(设计)人: 刘丽娴;邵晓鹏;章学仕;宦惠庭;尹旭坤;张乐;董磊;魏鹏伟 申请(专利权)人: 西安电子科技大学
主分类号: G01N21/17 分类号: G01N21/17;G01N21/25;G01N21/39
代理公司: 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 代理人: 刘长春
地址: 710000 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种吸收光程增强型双谐振光声光谱痕量气体检测系统,包括光源模块、光声谐振腔、信号处理模块,光源模块用于产生入射光;光声谐振腔用于使待测痕量气体吸收入射光,以产生光声信号并放大光声信号,将放大的光声信号转化为电信号,其中,光声谐振腔包括石英音叉,用于与光声信号发生共振,通过压电效应产生电信号;信号处理模块用于对电信号进行放大、互相关处理、分析和匹配。本发明的检测系统,石英音叉和光声谐振腔一体化的结构,使得装置结构小巧,测量方便快速,克服了传统石英增强光声光谱装置安装效率低下的问题,比传统的微音器检测光声信号的频响范围更窄,增强了抗噪能力。
搜索关键词: 一种 吸收 光程 增强 谐振 声光 痕量 气体 检测 系统
【主权项】:
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