[发明专利]一种基于悬浮二维材料及异质层悬挂质量块的加速度传感器

摘要

本发明公开了一种基于悬浮二维材料及异质层悬挂质量块的加速度传感器，其特征在于，悬浮二维材料及异质层悬挂质量块作为弹簧‑质量块系统及跨导器结构使用；悬浮二维材料及异质层的所用材料主要包括石墨烯、六方氮化硼、二硫化钼、二硒化钨、二硒化钼、二硫化钨、二硒化铂等过渡金属二硫属化物；外在所施加的加速度（例如沿Z轴方向）使悬挂质量块的悬浮二维材料及异质层形变与应变（例如沿Z轴发生），进而使压阻的悬浮二维材料及异质层的电阻发生变化，从而可检测到所施加的加速度。大的悬挂的质量块、高压阻系数的二维材料及异质层的使用与六方氮化硼作为封装层大幅度提高了器件的灵敏度、分辨率、检测极限与产率，避免了器件性能的降解。