[发明专利]一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置在审

专利信息
申请号: 202010852900.4 申请日: 2020-08-22
公开(公告)号: CN111850678A 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 王维 申请(专利权)人: 北京北方华创真空技术有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 北京维正专利代理有限公司 11508 代理人: 侯巍巍
地址: 102600 北京市大兴区北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本申请涉及一种涉及单晶炉的领域,尤其是一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,设置在主炉室的一侧并与副炉室相连接,包括支撑架、升降机构、旋转机构和连接副炉室的连接机构,所述的支撑架与主炉室机架相连,支撑架上设置有主轴,所述的升降机构设置在支撑架上并与主轴活动连接,所述的旋转机构设置在支撑架的顶部并与主轴相连接,所述的连接机构的一端与升降机构相连接,其另一端与旋转机构相连接,连接机构设置在主轴的侧面并与主轴固定连接。本申请具有提高了单晶炉运行的稳定性,保证了单晶炉在生产过程中能够长期安全、可靠运行的效果。
搜索关键词: 一种 单晶炉用副炉室 升降 旋转 装置
【主权项】:
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