[发明专利]一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置在审
申请号: | 202010852900.4 | 申请日: | 2020-08-22 |
公开(公告)号: | CN111850678A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 王维 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创真空技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 侯巍巍 |
地址: | 102600 北京市大兴区北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请涉及一种涉及单晶炉的领域,尤其是一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,设置在主炉室的一侧并与副炉室相连接,包括支撑架、升降机构、旋转机构和连接副炉室的连接机构,所述的支撑架与主炉室机架相连,支撑架上设置有主轴,所述的升降机构设置在支撑架上并与主轴活动连接,所述的旋转机构设置在支撑架的顶部并与主轴相连接,所述的连接机构的一端与升降机构相连接,其另一端与旋转机构相连接,连接机构设置在主轴的侧面并与主轴固定连接。本申请具有提高了单晶炉运行的稳定性,保证了单晶炉在生产过程中能够长期安全、可靠运行的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉用副炉室 升降 旋转 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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