[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 202010854186.2 | 申请日: | 2020-08-24 |
公开(公告)号: | CN113270487A | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 小林仁 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社 |
主分类号: | H01L29/417 | 分类号: | H01L29/417;H01L29/778 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 刘英华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 提供的低电阻的半导体装置具备:第1及第2氮化物半导体层及设于它们间的氮化物绝缘层;多个第1~第4漏极电极及多个第1及第2源极电极,各自的一部分设于氮化物绝缘层之上及之下,在第1方向上分别隔开第1、第2、第5、第6、第9、第10长度;多个第2漏极电极在第1、第2方向上从多个第1漏极电极分别偏移第3、第4长度;多个第3漏极电极在第2方向上与多个第1及第2漏极电极分别隔开;多个第4漏极电极在第1、第2方向上分别从多个第3漏极电极偏移第7、第8长度,从多个第1、第2漏极电极分别隔开;多个第2源极电极在第1、第2方向上从多个第1源极电极分别偏移第11、第12长度。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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