[发明专利]一种基于多路投影的大检测范围3D形貌仪及测量方法

摘要

本发明专利公开一种基于多路投影的大检测范围3D形貌仪及测量方法，包括多路投影照明模块，3D形貌探测模块及扫描模块；所述的多路投影照明模块用于产生一系列等间隔排列的光片（光刀）照亮待检测样品，所述的3D形貌探测模块用于捕获被待测样品表面调制的光，所述的扫描模块用于移动扫描或旋转扫描实现对待测样品的全表面探测。应用激光三角法分析多路投影照明模块与3D形貌探测模块所结合的光路结构，建立轴向高度计算模型及横向长宽计算模型，从而可以标定待测样品的空间三轴尺度。由于多路光片投影可覆盖较大检测范围，故本发明提供了一种大检测范围的3D形貌仪及其测量方法，有望用于工业样品的大范围多角度高速定量3D形貌测量分析。