[发明专利]多拼接子镜多自由度位移监测系统有效
申请号: | 202010855322.X | 申请日: | 2020-08-24 |
公开(公告)号: | CN111947580B | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 鞠国浩;许博谦;姜凤义;王帅会;张春悦 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G02B27/28 |
代理公司: | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人: | 尹庆娟 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 多拼接子镜多自由度位移监测系统属于激光应用技术领域,目的在于解决现有技术存在的问题。本发明包括:光源模块,光源模块将发射的具有频域差的双频激光分束获得m路,顺序使各路导通;p个光学测量模块,每个光学测量模块包括n个一维测量子模块以及多维反射镜组件,光源模块的n路激光分别通过光纤和n个一维测量子模块连接,每个一维测量子模块和多维反射镜组件配合将垂直反射的参考激光和目标激光输入至信息采集与处理模块;以及信息采集与处理模块,考激光和目标激光经信息采集与处理模块处理获得参考光学拍信号以及目标光学拍信号,相位分析系统根据参考光学拍信号以及目标光学拍信号的相位差的改变量计算获得目标的相对位移量。 | ||
搜索关键词: | 拼接 子镜多 自由度 位移 监测 系统 | ||
【主权项】:
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