[发明专利]立式炉设备有效
| 申请号： | 202010856769.9 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN112013674B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 王玉霞;孙妍;武鹏科;王建勋 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F27B1/06 | 分类号： | F27B1/06;F27B1/10;F27B1/16;F27B1/22;F27B1/24;F27B1/26;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726 | 代理人： | 陈亚英 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种立式炉设备。该立式炉设备用于对晶圆进行热处理工艺，包括：炉体结构、进气结构及排气结构；炉体结构包括壳体及炉管，壳体包覆于炉管的外侧，炉管内部自上至下依次划分为多个加热区域；进气结构设置于壳体的一侧，并且包括多个进气口，多个进气口分别对应多个加热区域设置，用于将冷却气体导入壳体内对炉管进行降温冷却；排气结构相对于进气结构设置于壳体的另一侧，并且包括多个排气口，多个排气口分别对应多个加热区域设置，用于将壳体内的冷却气体导出。本申请实施例，实现了每个加热区域都有冷却气体进入，使得各加热区域降温速率相同，提升了炉体结构整体冷却效率。 | ||
| 搜索关键词： | 立式 设备 | ||
【主权项】：
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