[发明专利]微机电系统力学传感器、传感器单体及电子设备有效
| 申请号： | 202010858551.7 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN112014001B | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波;冷群文;丁凯文;赵海轮;安琪;周汪洋;王喆;宋青林 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/12 | 分类号： | G01L1/12;G01L9/14;G01R33/09 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 吴秀娥 |
| 地址： | 266101 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本说明书实施例提供一种微机电系统力学传感器、传感器单体及电子设备。微机电系统力学传感器包括：第一支撑件；位于第一支撑件上的第一元件；可移动部件，该可移动部件能接受力学作用以相对于第一支撑件产生第一位移；以及位于可移动部件上的第二元件；其中，在未施加所述力学作用的工作情况下，第二元件位于第一元件的元件平面外侧；其中，第一元件和第二元件中的一个是磁阻，另一个是第一电流线；以及其中，由第一电流线对所述磁阻所施加的磁场随所述第一位移变化，以使得所述磁阻的阻值变化，从而产生传感器信号。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 力学 传感器 单体 电子设备 | ||
【主权项】：
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