[发明专利]微机电系统磁阻传感器、传感器单体及电子设备在审
| 申请号： | 202010858561.0 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN112014778A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波;冷群文;丁凯文;赵海轮;安琪;周汪洋;王喆;宋青林 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/09 | 分类号： | G01R33/09 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 吴秀娥 |
| 地址： | 266101 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本说明书实施例提供了一种微机电系统磁阻传感器、传感器单体及电子设备。该微机电系统磁阻传感器包括：第一支撑件；第一磁阻，设置在第一支撑件上，以及第一磁阻的第一钉扎方向是X方向；第二支撑件；磁场形成元件，设置在第二支撑件上，并形成施加于第一磁阻的磁场，其中，在待感测物理量的作用下，第一支撑件相对于第二支撑件移动，以产生感测信号，以及第二支撑件相对于第一支撑件移动的方向是Z方向，其中，在静态工作状态下，磁场形成元件施加于第一磁阻的磁场具有Y方向的偏置磁场分量。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 磁阻 传感器 单体 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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