[发明专利]一种相干激光测距芯片及其系统

摘要

本发明公开了一种相干激光测距芯片及其系统，该芯片包括：基底以及制备在基底上的光源调制单元、收发单元、混频转换单元和波导，光源调制单元、收发单元和混频转换单元之间通过波导连接；光源调制单元用于输出调制后的信号光和参考光，信号光经过收发单元后照射在目标物体上形成反射信号光；混频转换单元用于接收参考光和反射信号光，将参考光和反射信号光进行转换探测后得到测距信号。本发明采用基底，在基底上制备形成光源调制单元、收发单元以及混频转换单元完成目标物体测距信号的获取，同时采用基底上形成的波导实现光信号在各个单元之间的传输。由此，可以采用芯片实现测距信号的获取，实现了相干测距的小型化和芯片化。