[发明专利]一种硅片插片花篮的定位装置在审

专利信息
申请号: 202010859265.2 申请日: 2020-08-24
公开(公告)号: CN112103232A 公开(公告)日: 2020-12-18
发明(设计)人: 高贤杰;陈林 申请(专利权)人: 昆明鼎承启鑫科技有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68
代理公司: 昆明正原专利商标代理有限公司 53100 代理人: 徐玲菊;蒋文睿
地址: 650400 云*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 发明提供一种硅片插片花篮的定位装置,包括升降架,其特征在于:升降架上部设有上定位机构、底部设有下定位机构,位于上、下定位机构之间的升降架上至少设有一个移位导向板。可在方便地实现空花篮的移入和载料花篮移出的同时,在第一锁紧机构和第二锁紧机构的共同作用下,对存在轻微变形的花篮进行定位、锁紧和校准,使之不会因轻微变形而出现倾斜,大大降低插片机插片过程中的卡片故障率。另外,通过承重球头杆有利于花篮底部在其他定位机构的作用力下快速平移至固定位置,同时所有对花篮进行定位、固定和(或)限位而施加的力量全部作用于金属件之上,可更好的保障定位效果,同时也大大降低了用于承载硅片的颗粒杆的受力损耗情况。
搜索关键词: 一种 硅片 花篮 定位 装置
【主权项】:
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