[发明专利]一种用于滚磨机定向仪的晶棒质量评估方法有效
| 申请号： | 202010862885.1 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN111985823B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 关守平;王文奇;宋阳 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | G06F18/23213 | 分类号： | G06F18/23213;G06F18/214;G06F18/22 |
| 代理公司： | 沈阳东大知识产权代理有限公司 21109 | 代理人： | 李珉 |
| 地址： | 110819 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于滚磨机定向仪的晶棒质量评估方法，涉及单晶材料加工技术领域。该方法首先建立含有M个晶棒检测数据的样本集，并将样本集划分为训练集和测试集；再采用改进的Canopy算法和K‑means算法对训练集样本进行精确聚类，确定用于晶棒质量评估的改进的Canopy‑K‑means模型的聚类中心；将测试集样本数据用于改进的Canopy‑K‑means模型，通过计算测试集样本与每一个聚类中心的距离来实现晶棒质量的评估；同时，采用k‑NN算法对与两个聚类中心的距离差的绝对值小于设定阈值ε的样本及对应的两个聚类中心所在Canopy簇中的训练样本进一步进行聚类计算，完成高相似度晶棒的质量评估。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 滚磨机 定向 质量 评估 方法 | ||
【主权项】：
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