[发明专利]一种抗振动差分式干涉声敏检测装置有效
| 申请号： | 202010864084.9 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN112254799B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 周建发;彭泳卿;陈科;李杨;黄彦;杜度;郑林;张宇露;刘蓓;郗洪柱;钟亮;蒙瑰;高志强 | 申请（专利权）人： | 北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司;中国人民解放军92578部队 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;G01N21/17;G01B11/02;G01L1/24 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 马全亮 |
| 地址： | 100076 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抗振动差分式干涉声敏检测装置，包括半导体激光光源、准直透镜、图像传感器、分束器、图像传感器、压力敏感膜片、窄带滤波片。压力敏感膜片上有两个长、宽、高完全一致的两个悬臂梁构成。本发明利用特性完全一致的悬臂梁，结合对称光路结构，建立光程差相同的干涉路径，相互抵消外界振动引起的相位差，差分输出后仅保留膜片表面的动态压力差信号，实现抗交叉的高灵敏声压检测。本声敏检测装置具有抗振动、结构简单、高灵敏等优点，适用于光声光谱气体、液体检测应用，可以用于光谱分析、仪器分析等领域动态声压、热力波的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 振动 分式 干涉 检测 装置 | ||
【主权项】：
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