[发明专利]一种镁基或铝基滤波器腔体镀层及其制备方法在审
| 申请号： | 202010864775.9 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN111962035A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 马洋;刘建利 | 申请（专利权）人： | 西安匠心云涂科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李红霖 |
| 地址： | 710054 陕西省西安市雁*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镁基或铝基滤波器腔体镀层及其制备方法，属于磁控溅射镀膜领域。本发明的制备方法，采用磁控溅射来镀层，首先镀200～300nm的Cr层作为打底层，代替采用传统电镀或化学镀的200～700nm的Ni打底层；之后溅射Cu层，Cu层沉积完成后，采用磁控共溅射技术沉积1‑2μm的Cr‑Al‑Ag共溅射层，在保证电学性能的同时，进一步减少了Ag的使用量，降低成本；共溅射层中Cr的加入提升了膜层间的结合力，Cr和Al均可提高镀层的抗氧化变色能力。本发明的制备方法，提高了镀层的致密性，减少了薄膜内部缺陷，因此降低了表面接触电阻，有利于滤波器的整机性能的提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滤波器 镀层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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