[发明专利]一种金属丝辅助化学气相沉积制备碳纳米管阵列的方法在审
| 申请号： | 202010865305.4 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN111943172A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 赵乃勤;李乐;沙军威;马丽颖;师春生;李群英;何春年;何芳 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C01B32/162 | 分类号： | C01B32/162;C23C16/26;C23C16/02 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300350 天津市津南区海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种金属丝辅助化学气相沉积制备碳纳米管阵列的方法，其特征在于以下过程：(1)在平面基底表面形成过渡金属催化剂/钝化层催化剂体系。(2)将附有过渡金属催化剂/钝化层的平面基底，置于真空体系中，以氢气为载气，以一定功率激发金属丝并向还原的金属催化剂沉积第二相金属，形成第二相金属/催化剂/钝化层体系。(3)通入碳源气体，利用化学气相沉积法在上述制得的第二相金属/催化剂/钝化层体系上生长碳纳米管阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属丝 辅助 化学 沉积 制备 纳米 阵列 方法 | ||
【主权项】：
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