[发明专利]可自动调节放肩工艺参数的单晶炉及控制方法在审
| 申请号： | 202010865550.5 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN111893563A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 逯占文;邢治国;徐永胜;王学卫;王胜军;张靖 | 申请（专利权）人： | 连城凯克斯科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/22 | 分类号： | C30B15/22 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 姜玉蓉;李洪福 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可自动调节放肩工艺参数的单晶炉，包括：晶体提拉模块、机器视觉直径测量模块和温度控制模块；所述提拉系统包括：转轴、连接在转轴上的绕线轮和一端连接在绕线轮上的软轴；所述软轴的另一端与晶体连接，在拉制单晶的工作过程中，转轴带动绕线轮旋转，使所述软轴与绕线轮相连的一端缠绕在绕线轮上，进而使软轴与晶体相连的一端对晶体进行提拉；所述提拉系统通过驱动电机穿过减速器，进而通过有齿轮齿条机构带动。本发明能使晶体放肩生长过程在整个生长过程中始终保持放肩形状一致，在不同单晶炉内部生长环境下，有效调整放肩生长的工艺参数。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 调节 工艺 参数 单晶炉 控制 方法 | ||
【主权项】：
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