[发明专利]一种光学元件损伤的在线监测方法及系统有效
| 申请号： | 202010866412.9 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN111983032B | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 殷伯华;刘垚;赵伟霞;刘俊标;高莹莹;韩立 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G01N29/07 | 分类号： | G01N29/07;G01N29/24;G01N21/17 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 李静玉 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学元件损伤的在线监测方法及系统，该方法包括：采集光学元件表面预设位置被照射时产生的超声信号；将超声信号转换为数字信号；根据数字信号、超声信号在光学元件中的传播速度、损伤直径、光学元件表面预设位置以及超声信号的出射位置计算损伤位置。通过实施本发明，采用光致声场效应，实现了激光器在正常工作情况下对光学元件损伤情况的实时在线监测；同时，通过获取超声信号的传播参数可以计算得到光学元件损伤位置与尺寸，便于详细了解光学元件损伤情况。由此，在激光器正常工作情况下可以及时移动透镜位置，避开损伤区域，有利于激光器寿命的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 元件 损伤 在线 监测 方法 系统 | ||
【主权项】：
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