[发明专利]基于NiFe2有效

专利信息
申请号: 202010867660.5 申请日: 2020-08-26
公开(公告)号: CN112071942B 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 胡继超;许蓓;贺小敏;王曦;李连碧 申请(专利权)人: 西安千月电子科技有限公司
主分类号: H01L31/105 分类号: H01L31/105;H01L31/0336;H01L31/18
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 韩玙
地址: 710000 陕西省西安市高新区丈*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种基于NiFe2O4/SiC紫外光电二极管,本发明还公开了一种基于NiFe2O4/SiC紫外光电二极管的制备方法,首先对N型SiC衬底进行清洗,清洗后吹干待用;然后在清洗后的N型SiC衬底上进行本征4H‑SiC同质外延层生长;在得到的本征4H‑SiC同质外延层上进行P型NiFe2O4异质外延层生长;在得到的P型NiFe2O4异质外延层上制作顶电极;在N型SiC衬底下表面制作底电极,最终形成NiFe2O4/SiC紫外光电二极管。本发明的二极管具有良好的光电响应,稳定性好,反应灵敏,加工工艺重复性好。
搜索关键词: 基于 nife base sub
【主权项】:
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