[发明专利]通用型电学冷热台在审
| 申请号： | 202010868112.4 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN111913014A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 韩修刚;王丽丽;刘金伟 | 申请（专利权）人： | 重庆渝微电子技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/00;G01N21/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 400030 重庆市沙坪坝区*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种通用型电学冷热台，包括台体（100）和台盖（200），二者组成密闭腔室，腔室可为被测元器件提供所需的真空或者气氛环境；台体（100）内部有冷热台（120）、探针金属板（160）和多个磁吸式探针组件（170）；台体侧壁（110）有多个电学信号接口（150,151,152,153），冷却介质进出口（140,141,142,143），温控接口（121），低温介质接口（122,123）以及进出气口（130,131,132,133）；所述冷热台（120）位于台体（100）内部的底板上，用于对被测元器件的温度控制；所述探针金属板（160）固定在台体内部的底座上；所述多个磁吸式探针组件（170）位于冷热台（120）的周围，实现器件和电学测试设备之间的连接；所述台盖（200）上有观察窗（210），在测试过程中，用于对被测器件的性能进行观察。 | ||
| 搜索关键词： | 通用型 电学 冷热 | ||
【主权项】：
暂无信息
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