[发明专利]传感器设备在审
| 申请号： | 202010869789.X | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN112432601A | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | W·乌尔里希 | 申请（专利权）人： | 斯图姆机械装备制造有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 蔡宗鑫;陈浩然 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种传感器设备，其用于作为涂覆过程的部分检查盘的涂层。所述传感器设备包括用于确定施加到盘的涂层的层厚度的第一光学传感器系统，并且包括旋转装置。本发明的特征在于，第一光学传感器系统设计成同时识别至少一个第一基于位置的测量值和一个第二基于位置的测量值，第一和第二基于位置的测量值描述传感器系统和盘的表面之间的距离。据此，传感器系统配置成使得盘的涂覆区域的第一基于位置的测量值和盘的未涂覆区域的第二基于位置的测量值被识别。此外，第一光学传感器系统包括从中心区域延伸到边缘的至少一个线性引导件。此外，提供了控制和分析装置，用于通过第一和第二基于位置的测量值来计算在第一基于位置的测量值的位置处的盘的层厚度。此外，本发明涉及一种用于盘的涂层，包括检查涂层以确定施加到盘的涂层的层厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 设备 | ||
【主权项】：
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