[发明专利]基于悬空波导结构的氮化硅相控阵芯片有效
| 申请号： | 202010870062.3 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN112034550B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 曾和平;冯吉军;胡梦云;李小军;谭庆贵;葛锦蔓 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学重庆研究院;华东师范大学;上海朗研光电科技有限公司;重庆华谱科学仪器有限公司;重庆华谱智能装备有限公司;云南华谱量子材料有限公司;广东朗研科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124;G02B6/12;G02B6/122;G02B6/125 |
| 代理公司： | 重庆启恒腾元专利代理事务所(普通合伙) 50232 | 代理人： | 江涛 |
| 地址： | 401123 重庆市渝北*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于悬空波导结构的氮化硅相控阵芯片，包括氮化硅波导区域、悬空波导区域两部分；其中氮化硅波导区域二由硅基衬底、二氧化硅缓冲层、二氧化硅包层、基于氮化硅波导的芯层组成；芯层包括光分束单元、第一弯曲波导、热光移相器、模斑变换器；悬空波导区域包括第二弯曲波导和阵列光栅天线。本发明对于视频成像、生物荧光检测、光学相控阵光束偏转及扫描具有较好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 悬空 波导 结构 氮化 相控阵 芯片 | ||
【主权项】：
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