[发明专利]一种高频摆动式气浮主轴在审
申请号: | 202010870625.9 | 申请日: | 2020-08-26 |
公开(公告)号: | CN112024912A | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 于久宝;王飞;赵亮;李瑞扬;陈铖;谢阳阳 | 申请(专利权)人: | 江苏工大金凯高端装备制造有限公司 |
主分类号: | B23B19/02 | 分类号: | B23B19/02;F16C32/06 |
代理公司: | 常州国洸专利代理事务所(普通合伙) 32467 | 代理人: | 吴丽娜 |
地址: | 212300 江苏省镇江市丹阳*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种气浮主轴,尤其涉及一种高频摆动式气浮主轴,属于气浮轴承技术领域。包括气浮轴承组件、光栅尺反馈系统及摆动式音圈电机组件;所述光栅尺反馈系统和气浮轴承组件上部连接,用于为气浮轴承组件提供高精度位置反馈,实现高精度定位控制;所述摆动式音圈电机组件和气浮轴承组件的下部连接,用于驱动气浮轴承组件做高频往复摆动。本发明的高频摆动式气浮主轴运动精度更高,转角范围更大,角加速度更大,能实现大转角下带定位控制的高频率往复摆动,在使用过程中可实现高运动精度、高频率、高加速度及高精度定位控制运动,在加工过程中对高形状精度及高表面光洁度的自由曲面以及曲面中添加复杂的阵列结构等此类复杂曲面面型优势明显。 | ||
搜索关键词: | 一种 高频 摆动 式气浮 主轴 | ||
【主权项】:
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