[发明专利]透明Ga2在审

专利信息
申请号: 202010872254.8 申请日: 2020-08-26
公开(公告)号: CN112103354A 公开(公告)日: 2020-12-18
发明(设计)人: 黄健;尚艺;陈卓睿;别佳瑛;黄浩斐;唐可;王林军 申请(专利权)人: 上海大学
主分类号: H01L31/032 分类号: H01L31/032;H01L31/105;H01L31/18
代理公司: 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 代理人: 顾勇华
地址: 200444*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种透明Ga2O3的p‑i‑n异质结构日盲型紫外光探测器及其制备方法,制备了Ga2O3薄膜,对日盲紫外光探测器的结构进行了设计,本发明探测器的结构采用衬底、p型NiO薄膜、i层Ga2O3薄膜、n型硼、镓共掺的氧化锌(BGZO)薄膜和Au电极五部分进行层叠组装而成。本发明相对于商业上使用的光电倍增管结构简单,性能优异,并且安全无毒,适用于大规模日盲紫外光探测器中。同时,p‑i‑n型结构的设计扩展了耗尽区的宽度,增大了光电转换的有效工作区域,提高了器件的响应速度。
搜索关键词: 透明 ga base sub
【主权项】:
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