[发明专利]极紫外光产生方法及装置有效
| 申请号： | 202010875810.7 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN111913370B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 马修泉;夏心宇;吴寒;王奕淳;何泓樟;王长久;张琳;闻锦程 | 申请（专利权）人： | 广东省智能机器人研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 左帮胜 |
| 地址： | 523808 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种极紫外光产生方法和装置，该方法包括：在真空环境中沿滴落方向产生靶材液滴串；生成频率与所述靶材液滴串的频率匹配的高功率激光；将高功率激光聚焦后沿滴落方向反向击打滴落的所述靶材液滴串，以使所述靶材液滴受到与所述滴落方向相反的激光作用并被等离子体化，进而产生极紫外光。一种极紫外光产生装置，包括靶材液滴发生器、高功率激光光源装置和聚焦透镜。本发明使用一套高功率激光光源装置，一次打靶产生所需的极紫外光，装置简单，设备调试和维护方便，有利于降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光 产生 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东省智能机器人研究院，未经广东省智能机器人研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010875810.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种金属表面处理专用油水分离器
- 下一篇：一种农机机械设备用的可调式牵引装置
